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Noticias de la Industria
Nueva Idea, nuevo equipo y nueva tecnología para la mejora del equipo de la capa de la farfulla del magnetrón
Nov 08, 2016

En la actualidad, la modernización de las industrias tradicionales se ha convertido en el paísy #39; s estratégica toma de decisiones los gobiernos en todos los niveles se han introducido, o está a punto de introducir una variedad de políticas de financiación. En este entorno, el sitio seguirá en marcha una serie de programa de actualización de equipos aplicación de vacío para los usuarios #39; s referencia. Este trabajo se centra en las nuevas formas y estrategias para la mejora del magnetrónla pulverización y el recubrimiento de arco catódicoequipo.


En el equipo de la capa de vacío, el vacío de fondo y la tasa de deflación es los dos conceptos más importantes de la calidad. El fondo de la aspiradora es intuitivo, fácil de medir, además de razones históricas, los usuarios han sido acostumbrados a ella y a la calidad del vacío equivalente. De hecho, el vacío de fondo refleja la idea, la cámara de vacío es la esencia de la calidad de vacío. En muchas ocasiones, al final del vacío de engañar al usuario, dando por resultado un uso indebido del proceso de bombeo, reducir la calidad del producto y una serie de problemas.


Es bien sabidocapa del vacíopuede dividir áspero en dos categorías: alto vacío (por ejemplo la capa de evaporación) y revestimiento vacío en el ambiente del gas de trabajo (como magnetrón sputtering y recubrimiento de arco catódico).


El primero y el fondo de medio ambiente de la vacuometalización es básicamente el mismo, caracterizado por la presión de base para la calidad de vacío no es problema, pero este tipo de equipos de recubrimiento, usualmente un gran volumen (sobre unos metros 3), la bomba principal es ampliamente utilizado en decenas de miles de bombeo de velocidad de la bomba de difusión de aceite L/s, el principal problema es el alto consumo de energía y contaminación seria de aceite vapor dos problemas , las contramedidas correspondientes se discutirá en otro artículo.

Este último, la presión de base superior a la presión de decenas a cientos de veces, vacío cubierto con el vacío de la base de la capa son muy diferentes, en la selección de la bomba de vacío y bombeo de proceso, a menudo producen errores y malentendidos, el foco se discutirá en este artículo.


Antes de la discusión, el primero claro las siguientes cuestiones básicas:


1 la presión de la cámara de vacío Q es proporcional a la cantidad de S en la cámara de vacío y es inversamente proporcional a la velocidad de bombea real de las condiciones de trabajo de la bomba de vacío, es decir, P.

Q / S P = 1


2 etapa de capa activo de presión de gas (principalmente vapor de agua) es la clave para influir en la calidad de la capa, equipo de la capa es la calidad de vacío de los indicadores sustantivos.


3 para la cámara de vacío sin hornear con cuidado, a menudo expuestos a la atmósfera, la presión en la parte inferior del gas activo representaron más del 90%.


Los resultados de la medición muestran que la presión de fondo, bombeo gas durante media hora, aproximadamente el 90% del vapor de agua, bombeo 1 hora, aproximadamente el 95% de vapor de agua, por lo tanto, la cámara de capa (incluyendo la pieza de trabajo) liberación del gas se puede considerar todo el gas activo.


4 esencia es reducir la naturaleza de la cámara de capa de la tarifa de gas, la parte inferior de la tasa de bombea fina se pondrá en la fase de recubrimiento. Puede ser una muy andquot; puzzlingandquot; inferencia: la velocidad bombea efectiva de la bomba de vacío 3000L/s, el humo baja a 8 * 10-3 Pa, la calidad de dibujo de la bomba de vacío y el bombeo eficaz velocidad 1500L/s, el extremo bombeado a 1,6 * 10-2 Pa la misma, es decir, precisión etapa bombea por bombeo de vacío velocidad menor, el vacío base permite a los pobres!


Los resultados de la medición muestran que: los dos tipos de bombas, la misma tasa de gas necesaria para la cámara de capa para Farfullar revestimiento, el tiempo requerido de la bomba es más o menos lo mismo, este último sólo aumentó en 5 minutos. En el plan de reconstrucción, puede ahorrar el tiempo de bruto bombeo fase 5 minutos, es decir, el ciclo de recubrimiento es sin cambios.


5 por 1 y la actividad de la presión parcial del gas en la parte inferior de la tasa de desgasificación de la capa es proporcional al inverso de la capa y rápida fase de bombeo.


6 para la etapa de bombeo velocidad y precisión etapa de bombeo las mismas situaciones (tales como evaporación), 1 de la capa la capa de gas reactivo fase y presión parcial de dibujo la misma presión en la parte inferior, así la presión de fondo puede ser utilizada para caracterizar la calidad del equipo de la capa de vacío.


7 para diferentes ocasiones en la etapa de recubrimiento, la presión del gas en la etapa de la capa activa es diferente de la presión de fondo, es decir, la calidad de vacío no se caracteriza por el vacío de fondo.

En la etapa 8 de la farfulla del magnetrón (generalmente 0.5Pa), bomba de difusión (debe añadirse a la válvula del acelerador) y la velocidad de bombeo es sólo el valor nominal de 1/6 ~ 1/5, la velocidad de la bomba molecular para el valor nominal de 50 ~ 70%, por lo que la actividad de la capa de la presión parcial del gas fueron 5 ~ 6 veces y 1.5 ~ 2 veces de la presión de fondo. Bomba molecular operan bajo alta presión, pero también propenso a jugar un peligroso.


9 inferencia: el uso de la etapa de la capa bombeo bomba de vacío de gran velocidad, fase bombeo fino de la presión de fondo puede ser mayor, o la velocidad de bombeo de la velocidad de bombeo puede ser menor.


Mejorar. Se aprecia que la presión de fondo como un indicador de calidad de vacío es un gran malentendido. La razón puede estar relacionada con la evaporación de la capa anterior, magnetrón farfulla, y plazas y. #39; hábito s de pensamiento.


8 la medida eficaz para reducir la cantidad de aire en la cámara de vacío no es aumentar la velocidad de bombeo de la bomba, sino para prolongar el tiempo de bombeo.


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